瑞士VAT 64.8 UHV型控制閘閥技術(shù)參數(shù)
瑞士VAT 64.8 UHV型控制閘閥專為在半導(dǎo)體生產(chǎn)中的濺射或 EUV 等應(yīng)用的超高真空過程中進(jìn)行可靠、精確的控制和隔離而設(shè)計(jì)。它滿足了耐用性、模塊化、密封性和可維護(hù)性的標(biāo)準(zhǔn)要求，特別關(guān)注高正常運(yùn)行時(shí)間和低擁有成本。
瑞士VAT 64.8 UHV型控制閘閥技術(shù)參數(shù)如下：
尺碼 DN 160 (6"), DN 200 (8"), DN 250 (10")
執(zhí)行器 帶閉環(huán)控制步進(jìn)電機(jī)的集成壓力控制器
機(jī)身材質(zhì) 不銹鋼
饋通 波紋管
標(biāo)準(zhǔn)法蘭 ISO-F、CF-F、ASA-LP/ASA、JIS
泄漏率閥體< 5 × 10 - 1 0 毫巴 ls - 1
閥座< 1 × 10 - 9 毫巴/秒- 1
壓力范圍DN 160– 200
DN 2501 × 10 -10 mbar 至 1.6 bar（絕壓）
1 × 10 -10 mbar 至 1.2 bar（絕壓）
澆口壓差DN 160– 200
DN 250≤ 1.6 巴
≤ 1.2 巴
開啟壓差 ≤ 30 毫巴
循環(huán)直到第一次服務(wù)節(jié)流（打開 – 最大打開）
隔離（打開 – 關(guān)閉 – 打開）100 000
30 000
溫度閥體≤ 80°C
控制器最大限度。50°C（建議≤ 35°C）
材料閥體AISI 304 (1.4301)
機(jī)制AISI 316L (1.4404) (DN 160– 200)
AISI 304 (1.4301) (DN 250)
波紋管AISI 316L (1.4404, 1.4435)
海豹引擎蓋金屬
門FKM（氟橡膠®）
安裝位置 任何
閥位指示 視覺（機(jī)械和控制器）
瑞士VAT 64.8 UHV型控制閘閥配備了 VATLOCK 技術(shù)，可提供可靠的密封，而不會在板上產(chǎn)生任何摩擦。該板用作節(jié)流元件并改變閥門開口的傳導(dǎo)性。機(jī)載壓力控制器計(jì)算所需的板位置以達(dá)到設(shè)定點(diǎn)壓力。步進(jìn)電機(jī)執(zhí)行驅(qū)動。編碼器監(jiān)控板的位置。這確保了快速準(zhǔn)確的過程壓力控制。關(guān)閉位置的特殊 VATLOCK 登錄機(jī)制可確保防漏隔離與斷電時(shí)的故障安全關(guān)閉相結(jié)合。
超高真空性能是通過金屬閥蓋密封和波紋管密封饋通以及硫化板密封（可選 O 形圈）實(shí)現(xiàn)的。
瑞士VAT 64.8 UHV型控制閘閥已經(jīng)在各種工藝條件下安裝在數(shù)以千計(jì)的苛刻應(yīng)用中，證明了其出色的可靠性。憑借其堅(jiān)固的免潤滑設(shè)計(jì)，它滿足了高循環(huán)真空控制閘閥的所有要求。
東莞市廣聯(lián)自動化科技有限公司專業(yè)供應(yīng)進(jìn)口電磁閥、氣缸、泵、傳感器、繼電器、開關(guān)、離合器、過濾器、濾芯、流量計(jì)、液位計(jì)、編碼器、伺服閥等產(chǎn)品。德國美國有公司，廠家一手貨源，詳請致電。
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